UV光氧凈化器又稱光氧催化設備，光氧催化主要利用的是比較先進的光觸媒技術，它主要是利用廢氣分子的裂解和分化，廢氣在超強的紫外線光束作用下，分子會發生形態的改變，由原來的大分子化合物降解成低分子的化合物，可以將原有廢氣當中的原子和電離子重新的進行組合，進而達到凈化處理廢氣的效果和目的。適用于中頻爐、養殖場、鑄造沙箱、噴漆房、木器加工膠合、模具模型加工、化工物料拌合等等產生的工業廢氣處理。

等離子光氧一體機又稱光氧等離子一體機，等離子主要是用的高能電子電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。適用于有煙又有味的環境工況，比如飯店、焊接、布料粘合、橡膠硫化、烤漆房、瀝青攪拌站等等產生的煙氣處理。兩種設備均可進行廢氣的凈化處理，但光氧催化器主要用于處理臭氣異味、有毒有害氣體的處理。低溫等離子凈化器處理油漆噴涂煙氣的效果比較好。